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参数化测试

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FS-MEMS

传感微结构参数测试仪

MEMS传感器测试 动态与静态参数 Q值与谐振频率

FS-MEMS 是一款专用于传感器结构参数测试功能的系统，为 MEMS 传感器电学参数提供晶圆级解决方案，可满足不同客户的定制化需求。

  • 内置数字 IO 模块，搭配智能探卡，无需更换线缆，通过一键操作即可完成。

  • 支持动态和静态参数测试，全面覆盖电流电压（IV）、电容电压（CV）、漏电、电阻、谐振频率、Q 值、正交系数、-3dB 带宽等关键电学参数，实现自动测试。

  • 硬件基于 PXI 架构，具有强大的系统扩展性，支持多通道并行测试，从而提高测试效率。

  • 系统内置专业测试软件，为客户提供友好的参数设置界面，操作简单，可轻松完成参数设置。

  • 包含多项功能模块，可测试角速度计（陀螺仪）、加速度计、压力传感器、光流量计、红外传感器等基于 MEMS 结构的微传感器。


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产品亮点

  • 设置便捷

    无需换线
    一键完成动静态参数

  • 测试高效

    支持多通道并行测试
    提高测试效率

  • 界面友好

    友好的参数设置界面、操作简单
    可轻松完成参数设置

产品应用

  • MEMS惯性传感器
    测试
    角速度计&加速度计

  • MEMS
    压力传感器
    测试

  • 基于微镜阵列的
    MOEMS传感器
    测试

  • 多轴复合式
    MEMS传感器
    测试

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